得られるデータ
干渉計による平面度の測定データを提出いたします。
対象物
■対象サイズ
範囲φ200mm、製品高さ130mm程度まで。
■材質
金属・半導体・酸化物など、絶縁体から軟質の有機物まで幅広い試料を測定可能です。
■形状
基本的に平面のものとなります。
■表面状態
基本的には光が反射するもの。
(光が透過するものは別途ご相談)
使用機種の詳細
弊社では下記装置を使用しております。
本装置は精密鏡面金属板やシリコンウェハ、フォトマスク基板、セラミックスプレート、ハードディスク基板、ガラスディスク基板、アルミディスク、オイルシール、液晶ガラス等の測定に有効です。
■型式:FT-200
■方式:フィゾー干渉式
■測定視野:φ200mm
■測定感度:0.316um
■試料ホルダ:水平置きスライド式
■光源:He-Neレーザー
λ=632.8nm
■測定精度:分解能 垂直方向0.1nm
再現性 2nm以下
サービスの特徴
弊社では精密研磨加工・鏡面加工を受託で行っております。そのため、他社にはない、より高精度な平面度が求められる案件を数多くいただいております。平面度の測定機は三次元測定機とレーザー干渉計を所有しており、お客様の仕様に応じて使い分けております。また測定だけではなく、平面度の修正加工や各幾何公差の精度入れ加工、また鏡面加工や試作品の製作なども合わせて対応可能です。研磨・鏡面加工技術についての詳細は弊社ホームページをご覧ください。ご質問等ございましたら、ぜひお気軽にお問い合わせ下さい。