itaku質問ポスト

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対応スペック

計測
  • 平面度測定
    • レーザー干渉計による平面度測定
    • 使用機種:溝尻光学 レーザー干渉式平面度測定器 非接触式 FT-200S
    • 数量:1個~対応可能
    • 測定範囲:φ200mmまで

概要

  • シリコンウェハ
  • フォトマスク基板
  • 半導体製造装置部品
  • セラミックスプレート
  • 金属平板
  • 精密鏡面板

平面度測定

得られるデータ

干渉計による平面度の測定データを提出いたします。

対象物

■対象サイズ
範囲φ200mm、製品高さ130mm程度まで。

■材質
金属・半導体・酸化物など、絶縁体から軟質の有機物まで幅広い試料を測定可能です。

■形状
基本的に平面のものとなります。

■表面状態
基本的には光が反射するもの。
(光が透過するものは別途ご相談)

使用機種の詳細

弊社では下記装置を使用しております。
本装置は精密鏡面金属板やシリコンウェハ、フォトマスク基板、セラミックスプレート、ハードディスク基板、ガラスディスク基板、アルミディスク、オイルシール、液晶ガラス等の測定に有効です。

■型式:FT-200
■方式:フィゾー干渉式
■測定視野:φ200mm
■測定感度:0.316um
■試料ホルダ:水平置きスライド式
■光源:He-Neレーザー
   λ=632.8nm
■測定精度:分解能 垂直方向0.1nm
      再現性 2nm以下

サービスの特徴

弊社では精密研磨加工・鏡面加工を受託で行っております。そのため、他社にはない、より高精度な平面度が求められる案件を数多くいただいております。平面度の測定機は三次元測定機とレーザー干渉計を所有しており、お客様の仕様に応じて使い分けております。また測定だけではなく、平面度の修正加工や各幾何公差の精度入れ加工、また鏡面加工や試作品の製作なども合わせて対応可能です。研磨・鏡面加工技術についての詳細は弊社ホームページをご覧ください。ご質問等ございましたら、ぜひお気軽にお問い合わせ下さい。

相談・見積依頼 相談・見積依頼 (サンプル表示では押せません)

実績

各種ウエハの平面度測定

Siウエハをはじめ各種ウエハ、フォトマスク基板などの平面度測定が可能です。

金属ウエハの平面度測定

平面度の測定はもちろん、受託での研磨加工も承っております。
現状の加工精度に不満がある、更に高精度なものを作りたい、など要望がございましたら、まずはお気軽にお問い合わせください。

株式会社ティ・ディ・シーについて

精密研磨・ラップ加工のティ・ディ・シー

株式会社ティ・ディ・シーは独自の技術開発とノウハウの蓄積により、超精密ラップ・超精密研磨の分野で世界最高水準の研磨加工技術を確立しました。あらゆる材質へRa1nm以下を達成可能とともに、平面度や平行度、寸法公差など複合的な精度管理まで得意としています。平面のみならず曲面、球面、内径や外径の研磨も可能で、お客様の求めるあらゆる形状に対応します。ご質問などございましたら、お気軽にお問い合わせください。

会議方法 Zoom、Google Meet、Teams、Webox、電話、メール
来客駐車場 5 台
ホームページ https://mirror-polish.com/

よくあるご質問

問い合わせ方法

面粗さ測定をお願いしたいのですが、どのような流れとなりますでしょうか?
本サイト経由もしくは弊社のホームページより直接お問い合わせください。
担当者より折り返しご連絡を差し上げます。
測定のお品は本社の工場にお送りいただきます。
測定終了後、測定データを添付し納入いたします。

測定・加工に関する質問

研磨加工や鏡面加工も一緒に依頼することは可能ですか?
はい、平面度測定だけではなく、研磨加工も喜んで承ります。
ご希望の仕様に応じて適切な加工方法を提案させて頂きますので、まずはお気軽にお問い合わせください。

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この企業の他の受託可能技術

  • シリコンウェハ
  • 接合基板
  • 半導体
  • 試験片
  • ウェハ
  • MEMS

AFMによる表面粗さ測定

弊社では精密研磨加工・鏡面加工を受託で行っております。そのため、他社にはない、より高精度な面粗さや平面度が求められる案件を数多くいただいております。面粗さの測定機はAFMや非接触式測定機など各種所有しており、お客様の仕様に応じて使い分けております。また測定だけではなく、面粗さの修正加工や各幾何公差の精度入れ加工、また鏡面加工や試作品の製作なども合わせて対応可能です。研磨・鏡面加工技術についての詳細は弊社ホームページをご覧ください。ご質問等ございましたら、ぜひお気軽にお問い合わせ下さい。

株式会社ティ・ディ・シー
  • 光学
  • 鏡面加工品
  • テストピース
  • 金型
  • 精密部品
  • 試験片

面粗さ測定

弊社では研磨加工・鏡面加工を受託で行っております。そのため加工面にキズが付かぬよう非接触式の面粗さの測定を行っております。また測定だけではなく、面粗さの修正加工やテストピース、試作品の製作なども合わせて対応可能です。研磨・鏡面加工技術についての詳細は弊社ホームページをご覧ください。ご質問等ございましたら、ぜひお気軽にお問い合わせ下さい。

株式会社ティ・ディ・シー

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